光學(xué)輪廓儀技術(shù)綜述:原理、發(fā)展與應(yīng)用前景
2024-09-14 光學(xué)輪廓儀是一種基于白光干涉原理的高精度測量儀器,它通過測量光程差來精確表征物體表面的三維形貌。其工作原理是將白光經(jīng)分光后,形成兩束相干光分別照射到參考面和樣品表面,通過測量反射光干涉形成的條紋變化,進(jìn)而解析出樣品表面的高度信息,生成三維圖像。近年來,隨著微納加工技術(shù)的不斷發(fā)展,光學(xué)輪廓儀技術(shù)也取得了顯著進(jìn)步。從最初的二維測量到現(xiàn)在的三維非接觸式測量,光學(xué)輪廓儀的精度和測量范圍都有了質(zhì)的飛躍。同時(shí),多模式測量技術(shù)、自動(dòng)化和智能化等創(chuàng)新應(yīng)用也進(jìn)一步拓展了其應(yīng)用場景。在應(yīng)用領(lǐng)域方...探索GTS激光跟蹤儀:如何實(shí)現(xiàn)大空間尺度的微米級(jí)測量?
2024-09-09 GTS激光跟蹤儀USMN聯(lián)合組網(wǎng)應(yīng)用——精確到微米的大空間尺度測量1.背景:突破單站式測量精度的局限當(dāng)前,對(duì)于激光跟蹤儀的大尺寸測量應(yīng)用,普遍采用單臺(tái)作業(yè)或多站位轉(zhuǎn)站測量的模式。然而,單站式激光跟蹤儀的空間測量精度為15μm+6μm/m,隨著測量范圍越大,其測量不確定度越大,跟蹤儀的測角精度對(duì)空間測量精度的影響較大。例如測量半徑10m,空間測量精度為75um,對(duì)某些高精度、大范圍應(yīng)用場景是不夠的。在此背景下,行業(yè)需要引入更為先進(jìn)的技術(shù)手段,以突破現(xiàn)有測量技術(shù)的局限,實(shí)現(xiàn)測量精...“軟件即儀器”——全新架構(gòu) Xtreme Vision顯微測量軟件平臺(tái)
2024-08-28 “軟件即儀器”,工業(yè)測量軟件較為復(fù)雜,涵蓋了軟件架構(gòu)、信號(hào)處理、圖像處理、數(shù)值計(jì)算、空間幾何、三維建模、3D渲染、并行計(jì)算、人機(jī)交互等多種交叉軟學(xué)科,是測量儀器系統(tǒng)極為重要的組成部分,中圖儀器一直致力于自主化工業(yè)測量軟件的開發(fā)和應(yīng)用。XtremeVision顯微測量軟件是中圖儀器為SuperView系列光學(xué)3D表面輪廓儀、VT系列共聚焦顯微鏡打造的一款功能強(qiáng)大的微觀形貌測量分析平臺(tái),廣泛應(yīng)用于對(duì)器件表面質(zhì)量要求高的光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造與封裝、超精密加工、3C產(chǎn)業(yè)鏈、航空航天、...關(guān)注公眾號(hào),了解最新動(dòng)態(tài)

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